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TFX4000E
TFX4000E——薄膜厚度測量設備 l 可量測多種材料薄膜 l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量 l 輸出產能高,具有較高的性價比 l 可量測范圍更寬廣,超厚膜和超薄膜量測能力更穩定 l 全新橢圓偏振光路設計 l 機械運動性能可靠,穩定性表現卓越
TFX4000i
TFX4000i——薄膜厚度測量設備 l 可量測多種材料薄膜 l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量 l 輸出產能高,具有較高的性價比 l 可量測范圍更寬廣,超薄膜量測能力更穩定 l 機械運動性能可靠,穩定性表現卓越 l 功能豐富、易用的軟件和算法 l
TFX3000P
TFX3000P——薄膜厚度測量設備 l 可量測多種材料薄膜 l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量 l 低持有成本(COO),輸出產能高,具有極高的性價比 l 機械運動性能可靠,穩定性表現卓越 l 功能豐富、易用的軟件和算法 l 全面支持工廠自動化要求