TFX4000OCD

TFX4000OCD——光學關鍵尺寸量測


? ? ? ? ?光學關鍵尺寸量測產品基于光學膜厚量測平臺,搭載自主研光學關鍵尺寸量測產品基于光學膜厚量測平臺,搭載自主研發算法功能,可應用于顯影后檢查(ADI)、刻蝕后檢查(AEI)等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側壁角度(SWA)、高度(Height)/深度等關鍵尺寸(CD)特征或整體形貌測量。



側壁角度(SWA)、高度(Height)/深度等關鍵尺寸
(CD)特征或整體形貌測量。